ماژول شتاب سنج و ژیروسکوپ
سیستم های میکروالکترومکانیکی (معروف به MEMS) دستگاه های الکترومکانیکی و مکانیکی بسیار کوچکی هستند. پیشرفت در فناوری MEMS به ما کمک کرده است تا محصولات همه کاره تولید کنیم. در حال حاضر بسیاری از دستگاه های مکانیکی مانند شتاب سنج، ژیروسکوپ و ... با استفاده از فناوری MEMS ساخته می شوند. این سنسورها مانند سایر آی سی ها بسته بندی می شوند. ماژول شتاب سنج و ژیروسکوپ عملکردهای مفید مشابهی دارند و اغلب با هم استفاده می شوند. شتاب سنج شتاب خطی یا حرکت جهتی یک جسم را اندازه گیری می کند، در حالی که سنسور ژیروسکوپ سرعت زاویه ای، شیب یا جهت جانبی یک جسم را اندازه گیری می کند. سنسورهای ژیروسکوپ برای چندین محور نیز موجود است. سنسور ژیروسکوپ وسیله ای است که می تواند جهت گیری و سرعت زاویه ای یک جسم را اندازه گیری کند. ژیروسکوپ ها از شتاب سنج ها پیشرفته تر هستند و می توانند شیب و جهت یک جسم را اندازه گیری کنند در حالی که شتاب سنج ها فقط می توانند حرکت خطی را اندازه گیری کنند. سنسورهای ژیروسکوپ را سنسور نرخ زاویه ای یا سنسور نرخ زاویه ای نیز می نامند. از این حسگرها در پروژه هایی استفاده می شود که جهت گیری یک شی برای فرد دشوار است. سرعت زاویه ای که بر حسب درجه بر ثانیه اندازه گیری می شود، تغییر در زاویه چرخش یک جسم در واحد زمان است. مفهوم نیروی کوریولیس در سنسورهای ژیروسکوپ استفاده می شود. در این سنسورها برای اندازه گیری سرعت زاویه ای، سرعت چرخش سنسور به سیگنال الکتریکی تبدیل می شود. با مشاهده ارتعاش سنسور ژیروسکوپ می توان به اصل کار سنسور ژیروسکوپ پی برد. این سنسور از یک عنصر ارتعاشی داخلی ساخته شده از مواد کریستالی به شکل دو T تشکیل شده است، این طرح شامل یک قسمت ثابت در مرکز است که یک 'بازوی حسگر' به آن متصل شده و یک 'بازوی محرک' در دو طرف آن است.